离子束成膜技术
doi: 10.11804/NuclPhysRev.06.03.029
- Received Date: 1900-01-01
- Rev Recd Date: 1900-01-01
- Publish Date: 1989-09-20
Abstract: 本文简要介绍了几类离子束成膜技术:离子束沉积和外延;离子束辅助沉积和离子蒸发沉积;集团离子束沉积;离子束溅射沉积。
Citation: | 郭华聪. 离子束成膜技术[J]. Nuclear Physics Review, 1989, 6(3): 29-31. doi: 10.11804/NuclPhysRev.06.03.029 |