离子束在材料改性中的应用
doi: 10.11804/NuclPhysRev.02.03.021
- Received Date: 1900-01-01
- Rev Recd Date: 1900-01-01
- Publish Date: 1985-09-15
Abstract: 引言离子束固体材料改性是核技术应用的一个重要方面。它是利用小型加速器将所需的离子加速并注入到材料的近表层,从而改变材料表层的物理、化学和机械性质的一种新技术,通常称为离子注入技术。国外在六十年代初,离子注入材料改性的研究是从半导体开始的。
Citation: | 洪忠悌. 离子束在材料改性中的应用[J]. Nuclear Physics Review, 1985, 2(3): 21-26. doi: 10.11804/NuclPhysRev.02.03.021 |