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Volume 6 Issue 3
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Article Navigation >  Nuclear Physics Review  > 1989  >  6(3): 29-31

郭华聪. 离子束成膜技术[J]. Nuclear Physics Review, 1989, 6(3): 29-31. doi: 10.11804/NuclPhysRev.06.03.029
Citation: 郭华聪. 离子束成膜技术[J]. Nuclear Physics Review, 1989, 6(3): 29-31. doi: 10.11804/NuclPhysRev.06.03.029
shu

离子束成膜技术

doi: 10.11804/NuclPhysRev.06.03.029

  • 四川大学原子核科学技术研究所

  • Received Date: 1900-01-01
  • Rev Recd Date: 1900-01-01
  • Publish Date: 1989-09-20
  • 本文简要介绍了几类离子束成膜技术:离子束沉积和外延;离子束辅助沉积和离子蒸发沉积;集团离子束沉积;离子束溅射沉积。
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通讯作者: 陈斌, bchen63@163.com
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    沈阳化工大学材料科学与工程学院 沈阳 110142

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离子束成膜技术

doi: 10.11804/NuclPhysRev.06.03.029
  • 四川大学原子核科学技术研究所
  • Received Date: 1900-01-01
  • Rev Recd Date: 1900-01-01
  • Publish Date: 1989-09-20

Abstract: 本文简要介绍了几类离子束成膜技术:离子束沉积和外延;离子束辅助沉积和离子蒸发沉积;集团离子束沉积;离子束溅射沉积。

郭华聪. 离子束成膜技术[J]. Nuclear Physics Review, 1989, 6(3): 29-31. doi: 10.11804/NuclPhysRev.06.03.029
Citation: 郭华聪. 离子束成膜技术[J]. Nuclear Physics Review, 1989, 6(3): 29-31. doi: 10.11804/NuclPhysRev.06.03.029
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