离子束成膜技术
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摘要: 本文简要介绍了几类离子束成膜技术:离子束沉积和外延;离子束辅助沉积和离子蒸发沉积;集团离子束沉积;离子束溅射沉积。Abstract: 本文简要介绍了几类离子束成膜技术:离子束沉积和外延;离子束辅助沉积和离子蒸发沉积;集团离子束沉积;离子束溅射沉积。
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引用本文: | 郭华聪. 离子束成膜技术[J]. 原子核物理评论, 1989, 6(3): 29-31. doi: 10.11804/NuclPhysRev.06.03.029 |
Citation: | 郭华聪. 离子束成膜技术[J]. Nuclear Physics Review, 1989, 6(3): 29-31. doi: 10.11804/NuclPhysRev.06.03.029 |
摘要: 本文简要介绍了几类离子束成膜技术:离子束沉积和外延;离子束辅助沉积和离子蒸发沉积;集团离子束沉积;离子束溅射沉积。
Abstract: 本文简要介绍了几类离子束成膜技术:离子束沉积和外延;离子束辅助沉积和离子蒸发沉积;集团离子束沉积;离子束溅射沉积。
引用本文: | 郭华聪. 离子束成膜技术[J]. 原子核物理评论, 1989, 6(3): 29-31. doi: 10.11804/NuclPhysRev.06.03.029 |
Citation: | 郭华聪. 离子束成膜技术[J]. Nuclear Physics Review, 1989, 6(3): 29-31. doi: 10.11804/NuclPhysRev.06.03.029 |