粒子探针的形成

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粒子探针的形成

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刘振灏. 粒子探针的形成[J]. 原子核物理评论, 1984, 1(4): 50-54. doi: 10.11804/NuclPhysRev.01.04.050

引用本文:

刘振灏. 粒子探针的形成[J]. 原子核物理评论, 1984, 1(4): 50-54. doi: 10.11804/NuclPhysRev.01.04.050

刘振灏. 粒子探针的形成[J]. Nuclear Physics Review, 1984, 1(4): 50-54. doi: 10.11804/NuclPhysRev.01.04.050

Citation:

刘振灏. 粒子探针的形成[J]. Nuclear Physics Review, 1984, 1(4): 50-54. doi: 10.11804/NuclPhysRev.01.04.050

摘要: 高分辨、高灵敏的粒子探针目前已经是许多实验室的重要设备,它在离子束分析方面占有显著的位置,在材料科学、冶金矿物、微电子学和生物医学等领域有着广泛的应用。粒子探针本身还在不断改善它的分辨率,分析方法也在不断发展。粒子探针是将加速器提供的束流(其中大多数是静电加速器)微米化。

Abstract: 高分辨、高灵敏的粒子探针目前已经是许多实验室的重要设备,它在离子束分析方面占有显著的位置,在材料科学、冶金矿物、微电子学和生物医学等领域有着广泛的应用。粒子探针本身还在不断改善它的分辨率,分析方法也在不断发展。粒子探针是将加速器提供的束流(其中大多数是静电加速器)微米化。