Abstract: 粒子探针,国外文章中称为NucIearmicroprebe,我们这样称呼它,是为了对称于电子探针(electron microprobe),区别于离子探针(Ion microprobe)。它是将加速器提供的兆电子伏数量级的粒子束(质子、α粒子或者其它重离子)进一步准直和聚焦到微米数量级。当前世界上聚焦最好的可使束斑达0.5微米,下一步的目标是0.1微米。